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        光学微电子净化工程一般包括

        来源:发表时间2018-2-6 17:17:47

        光学微电子净化工程一般包括:
        1、 洁净生产区
        2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
        3、 管理区(包括办公、值班、管理和休息)
        4、 设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)


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