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        无尘车间

        说明:无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室。由于生产工艺种类繁多,对洁净度等级要求也不同,高的很高,低的很低;对粒子粒径控制的要求也不同,范围约为0.1~5um;对…

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        • 介绍

        无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室。由于生产工艺种类繁多,对洁净度等级要求也不同,高的很高,低的很低;对粒子粒径控制的要求也不同,范围约为0.1~5um;对温湿度控制的要求相对较 高,如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22℃(精度±0.1~±1℃),相对湿度基数为40%(精度±2~±5℃;正压值要求的梯度级别,随着洁净度的变化而从高到低变化,差值5~10Pa。


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